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新华社台北6月23日电(记者程瑛范丽青)台积电、联电、茂德、力晶等高科技企业的12英寸晶圆厂已开始或即将进入规模化生产,台湾成为全球最大的12英寸晶圆厂群落。
硅晶圆材料是半导体晶圆厂最重要的基础原材料。硅晶片直径越大,则一个晶片可制成的芯片数量越多,单位成本越低。直径12英寸的晶圆生产是目前台湾高科技产业界关注的热点。台积电董事长张忠谋曾表示,12英寸晶圆厂的发达程度将成为半导体产业竞争力的关
键标志。他估计,5年后台湾会有10座以上12英寸晶圆厂。
台积电第一座12英寸晶圆厂现已达月产万片的规模,另有3家工厂也在筹划兴建之中。联电在台南科学园的首座12英寸晶圆厂,据称已达5000片生产规模;茂德的12英寸晶圆厂到年底产量可达9000片;力晶的12英寸晶圆厂也开始试产。
台湾12英寸晶圆生产的迅猛势头引发国外晶圆材料供货商关注,美国、德国等的企业竞相展开布局,计划投资数亿美元在新竹科学园区等地兴建晶圆材料制造厂。
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